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卡西雅瑪真空泵可以包括低真空用的直接排氣常壓卡西雅瑪真空泵、中高真空用的機械加壓泵、多級卡西雅瑪真空泵。直排大氣根真空泵主要是濕根真空泵和風(fēng)冷根真空泵(多級根真空泵也可以直接排風(fēng))。直排大氣型通道真空泵為了實現(xiàn)常壓下的啟動,采用結(jié)構(gòu)上犧牲真空度、增大轉(zhuǎn)子間隙、改變轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)、強化冷卻等方式實現(xiàn)高壓差下的運行(多級通道泵采用多級轉(zhuǎn)子串聯(lián)實現(xiàn)高壓差運行)。很多根源真空泵在常壓下無法直接啟動。
一般的卡西雅瑪真空泵(機械加壓泵),為了確保真空度和排氣效率,沒有采用上述變化。如果直接排出大氣,則吸引口與吸引口的壓差過大,吸引真空泵過載,無法動作。此時,若增大卡西雅瑪真空泵馬達的電力,則熱量增加,卡西雅瑪真空泵轉(zhuǎn)子過熱而無法散熱,殼體的散熱快,之間產(chǎn)生高溫差,卡西雅瑪真空泵轉(zhuǎn)子的熱膨脹加速,它們之間和泵室之間的間隙消失而固定。
因此,為了使卡西雅瑪真空泵達到高真空度,必須確??ㄎ餮努斦婵毡玫霓D(zhuǎn)子和泵室之間的間隙。因此,大部分中高真空泵應(yīng)配備前置泵,將系統(tǒng)中的壓力引出一定范圍,然后啟動真空泵,保證進出口壓差在合理范圍內(nèi),避免壓差過高真空泵過載。真空泵的前段泵,除了水環(huán)真空泵、油封式真空泵、往復(fù)式真空泵等可以直接排出大氣的真空泵之外,與無油真空泵相結(jié)合,可以選擇大范圍、大吸引速度的無油真空系統(tǒng)。
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